- [慧騰資訊]晶圓AOI檢測(cè)設(shè)備減震:如何選擇合適的減震解決方案2024年09月11日 13:47
- 晶圓AOI檢測(cè)設(shè)備減震:如何選擇合適的減震解決方案 一、引言 在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,晶圓AOI(Automatic Optical Inspection,自動(dòng)光學(xué)檢測(cè))設(shè)備扮演著至關(guān)重要的角色。為了確保其高精度檢測(cè)能力,選擇合適的晶圓AOI檢測(cè)設(shè)備減震解決方案變得尤為重要。本文將詳細(xì)介紹晶圓AOI檢測(cè)設(shè)備減震的重要性,并提供關(guān)于如何選擇合適的減震方案的專(zhuān)業(yè)指導(dǎo)。 二、晶圓AOI檢測(cè)設(shè)備減震的重要性 晶圓AOI檢測(cè)設(shè)備用于檢查晶圓表面的質(zhì)量,識(shí)別缺陷并進(jìn)行分類(lèi)。任何微小的振動(dòng)都可
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